半導體的關鍵性制程均需于干凈無塵的環(huán)境內(nèi)進行，半導體設備零件需要在高溫、真空且具有腐蝕性氣體的環(huán)境下使用。精密陶瓷材料在復雜的物理和化學環(huán)境下能保持高度的穩(wěn)定性。

我公司生產(chǎn)的半導體陶瓷零部件，選用大于99.5%純度氧化鋁陶瓷，經(jīng)冷等靜壓成型、高溫燒結(jié)、精密加工和拋光而成。具有優(yōu)越的耐磨、耐腐蝕、低膨脹系數(shù)、絕緣等性能，可以很好的滿足半導體設備對零件的苛刻的要求。